- 可有效检测最小线宽20%尺寸大小的缺口、毛刺及0.4mil以下的微短/开路缺陷；
- 特别软件设计，在防止细小缺陷漏测的同时将误检数目控制到最低，提高整体检测效率；
- CAM资料导入分析仅需2-10秒，为目前行业最快速度。无需单独的建模工作站。人性化操作界面，20分钟即可独立进行操作；扫描时间小于35秒/张；
- 掌握核心技术，可根据用户需求量打造；服务便捷。
| 产品型号 |
ESL D1 |
ESL D3 |
|
最小线宽/线距 |
3mil（75μm） |
2mil（50μm） |
| 检测速度（秒/面） |
35 sec/Side (Size 18"×24" at 4mil line width) |
90 sec/Side (Size 18"×24" at 2mil line width) |
| 检测精度 |
毛刺、缺口：最小线宽20%尺寸 开路、短路：0.5mil *以上规格可根据用户需求调整 |
毛刺、缺口：最小线宽20%尺寸 开路、短路：0.4mil *以上规格可根据用户需求调整 |
|
缺陷类型 |
开路、短路、缺口、毛刺、针孔、尺寸违规、位置违规、孤立点... ... |
|
| CAM资料格式 |
GERBER RS-274X、 ODB++ |
|
| 最大检测尺寸 |
26"×26"(660 ×660mm ) or 26"×30"(660 ×760mm) |
|
| 适用底片 |
黑片/棕片 |
|
| 检测原理 |
CAM特征对比 |
|
| 二次元功能 |
可选配 |
|
| 缺陷确认方式 | 在线式确认 | |
| 光源系统 | 高亮LED光源（寿命：大于3年） | |
| 相机 |
高速线阵CCD相机 |
|
| 操作系统 | Microsoft Windows 7 | |
| 尺寸 Size L×W×H | 1510mm ×1380mm ×1580mm | |
| 重量 | 1200KG | |
| 电力要求 | 单相 AC200V，50Hz，2KW | |
| 吸气 |
自备真空吸附单元 |
|
| SPC | 缺陷自动分类及数据 | |
